ASML meldt doorbraak: EUV-machine kan 50 procent meer chips per uur gaan produceren
In dit artikel:
ASML heeft de lichtbron van zijn EUV-lithografiemachines opgevoerd naar circa 1000 watt, een stap die rond 2030 moet leiden tot ongeveer 50% meer wafers per uur: van grofweg 220 naar circa 330. Omdat elke wafer tientallen tot duizenden chips bevat, vertaalt die hogere doorvoer zich direct in lagere kosten per chip en maakt EUV aantrekkelijker voor meer lagen in geavanceerde processen.
De verbetering zit in het hart van de machine: in een vacuüm worden tienduizenden gesmolten tindruppels per seconde afgevuurd en met een CO2-laser in plasma omgezet, dat extreem ultraviolet licht uitzendt. ASML verdubbelde het aantal geraakt druppels naar circa 100.000 per seconde en veranderde de pulssequens: twee mildere pulsen vormen de druppel, gevolgd door een krachtige puls die het plasma aanmaakt. De resulterende, stabielere lichtproductie wordt via spiegels van Zeiss naar de wafer geleid. Tests vonden plaats in het lab van dochter Cymer in San Diego onder condities die lijken op fabrieksomgevingen, wat aangeeft dat dit geen loutere proefopstelling is.
Praktische inzet laat nog op zich wachten. Hogere belichtingssnelheden vragen ook snellere en nauwkeurige wafer stages, reticlesystemen en meetapparatuur; lithografie vereist positionering op atomair niveau en snelle bewegingen moeten trillingsvrij blijven. Intern bij ASML wordt al gesproken over verdere opschaling naar 1500 watt en mogelijk zelfs 2000 watt, zonder dat er een fundamentele natuurkundige grens zichtbaar is.
Strategisch is de stap belangrijk omdat concurrenten in de VS—startups zoals xLight, Substrate en Inversion Semiconductor—alternatieve, op röntgen-achtige bronnen gebaseerde concepten ontwikkelen met deeltjesversnellers. Die technologieën beloven hoge intensiteiten maar hebben integratie- en formaatuitdagingen voor fabrieken. Voor chipmakers komt het uiteindelijk neer op één rekensom: hoeveel functionele chips per uur tegen welke kosten. Als 330 wafers per uur haalbaar wordt, verschuift de economische grens voor geavanceerde logica en geheugen opnieuw.