ASML levert eerste high-NA EUV-machine aan imec in Leuven
In dit artikel:
In een cleanroom in Leuven is deze week een van de meest geavanceerde chipmachines ter wereld geïnstalleerd: ASML’s nieuwste High NA EUV-tool. Het apparaat verhuist hiermee uit het ontwikkelingslab in Veldhoven naar onderzoeksinstituut imec in Leuven, waar de technologie opgeschaald en richting industriële toepassingen verder verfijnd wordt. De eerste module — een 25 ton wegend deel met waferstage en meetinstrumenten — staat al in imec’s NanoIC-cleanroom; de resterende onderdelen, zoals de lichtbron en optische secties, volgen de komende maanden. Als alles volgens planning verloopt, moet het systeem eind 2026 volledig operationeel zijn, waarmee imec de eerste Europese organisatie met een eigen High NA EUV-opstelling wordt.
Het systeem is extreem groot en complex: meerdere modules met een totaalgewicht rond 150 ton en het formaat van twee op elkaar gestapelde stadsbussen. In het hart van de machine genereren lasers een plasma van ruim 200.000 graden Celsius om extreem ultraviolet licht te maken, dat via precieze spiegels op siliciumwafers wordt geprojecteerd. EUV-lithografie combineert optica, thermodynamica en precisietechniek en behoort tot de moeilijkst te beheersen industriële processen; elke unit kost tussen circa 400 en 500 miljoen euro.
De upgrade naar High NA draait om één technisch voordeel: een hogere numerieke apertuur maakt scherpere belichting mogelijk, waardoor patronen tot ongeveer 67% kleiner kunnen worden dan met de huidige EUV-systemen. Dat opent de weg naar transistorafmetingen rond 1,4 nanometer en verder, wat meer rekenkracht en lagere energieconsumptie per berekening oplevert — cruciaal nu toepassingen als AI en HPC een explosieve vraag naar efficiëntie laten zien.
De keuze voor imec is strategisch: het instituut fungeert als neutraal samenwerkingsplatform waar chipbedrijven, materiaalproducenten en equipmentleveranciers procesinnovaties gezamenlijk testen. Door de High NA-machine te integreren in imec’s onderzoeksomgeving kunnen leercycli versnellen en de vertaalslag van experiment naar productieklaar proces korter worden gemaakt. De samenwerking met ASML blijft symbiotisch: ASML bouwt de apparatuur, imec ontwikkelt en valideert toepassingen waar de industrie vervolgens van profiteert.
De installatie sluit aan op bredere Europese ambities om meer technologische autonomie in de chipketen op te bouwen. Het project krijgt steun van Vlaamse en Nederlandse overheden en past binnen initiatieven zoals de Chips Joint Undertaking. Dat versterkt Europese kennisontwikkeling, hoewel massaproductie van chips waarschijnlijk bij gevestigde fabricagegiganten als TSMC, Samsung en Intel blijft. De komende jaren moet imec eerst geschikte toepassingen voor grootschalige productie ontwikkelen; daarna volgen pilotlijnen bij foundries en uiteindelijk massaproductie — stappen die samen de weg naar het zogenaamde angstrom-tijdperk markeren, waarin niet alleen machines maar ook materialen en ontwerpprincipes ingrijpend moeten veranderen.